Подробное описание документа

   Высокие технологии в пром-сти России (Материалы и устройства функциональной электрон. и микрофотоники): материалы XVI Междунар. науч. -техн. конф., Москва, 9-11 сентября 2010 г. Тонкие пленки в электрон. : материалы XXIII Междунар. симп., Москва, 9-11 сентября 2010 г. / МГТУ им. Н. Э. Баумана. - М. : Изд-во ЦНИТИ "ТЕХНОМАШ", 2010. - 465 с. : ил. - Библиогр. в конце ст. - ISBN 978-5-902740-14-8.

В настоящем сборнике публикуются материалы докладов ХVI Международно научно-технической конференции «Высокие технологии в промышленности Росси (Материалы и устройств функциональной электроники и микрофотоники) и ХХIII Международного симпозиума «Тонкие пленки в электронике» по следующим
направлениям: нанотехнологии - инженерные проблемы и подготовка кадров;материалы, оборудование и технологии наноэлектроники и микрофотоники; новые технологии производства, обработки и исследования наноструктурированных материалов; системы и устройства радиотехники и средств связи; технологии и оборудование для производства приборов электронной техники и радиоэлектронных устройств; получение, свойства и применение тонких плёнок в электронике; слоистые структуры на основе тонких пленок; методы контроля функциональных свойств материалов электронной техники, измерительная аппаратура и аналитические методы; моделирование и информационное обеспечение исследований.
В материалах конференции и симпозиума приводятся новые результа теоретических и экспериментальных исследований,проведенных авторами в последнее время. Сборник рассчитан на специалистов в таких областях, как тонкие пленки наноструктурированные материалы, твердотельная электроника и микромеханика наноэлектроника и микрофотоники, электронные технологии и вакуум но технологическое оборудование. Опубликованные материалы особенно полезны молодым ученым, аспирантам и студентам,специализирующимся в указанных направлениях.