Подробное описание документа

Статья

Контроль качества диэлектрических слоев интегральных микросхем и изделий микросистемной техники / Андреев В. В., Столяров А. А., Васютин Д. С., Михальков А. М. // Наукоемкие технологии. - 2010. - Т. 11, № 7. - С. 44-52.

УДК
621.38 Электроника. Фотоэлектроника. Электронные лампы. Трубки. Рентгенотехника. Ускорители частиц

Статья опубликована в следующих изданиях

с. 44-52

Журнал

Наукоемкие технологии.
Т. 11, № 7. - 2010.

подробнее