Подробное описание документа

   Статья

   Контроль качества диэлектрических слоев интегральных микросхем и изделий микросистемной техники / Андреев В. В., Столяров А. А., Васютин Д. С., Михальков А. М. // Наукоемкие технологии. - 2010. - Т. 11, № 7. - С. 44-52.

УДК

621.38 Электроника. Фотоэлектроника. Электронные лампы. Трубки. Рентгенотехника. Ускорители частиц

Статья опубликована в следующих изданиях

с. 44-52

   Журнал

   Наукоемкие технологии.
   Т. 11, № 7. - 2010.

подробнее