Подробное описание документа

   Введение в процессы интегральных микро- и нанотехнологий : [учеб. пособие для вузов] : в 2 т. / общ. ред. Коркишко Ю. Н. - М. : БИНОМ. Лаборатория знаний, 2010. - (Нанотехнологии). - ISBN 978-5-9963-0341-0.
   Т. 1 : Физико-химические основы технологии микроэлектроники / Чистяков Ю. Д., Райнова Ю. П. - 2010. - 392 с. : ил. - Библиогр.: с. 386-389. - ISBN 978-5-9963-0335-9.

Разделение данной книги на 2 тома обусловлено большим объемом материала,касающегося интегральных микро- и нанотехнологий; при этом каждый из томов представляет вполне самостоятельный интерес.
В первом томе основное внимание обращается на анализ физико-химических основ ключевых технологических процессов микроэлектроники, таких как гетерогенное фазообразование, перераспределение вещества при теемической и нетермической активации процессов, фотохимическое воздеиствие различных излучений, полей и др. Взаимосвязь этих процессов на протяжении всего технологического цикла изготовления интегральных схем устанавливается путем рассмотрения проблем межфазного взаимодействия внеравновесных микрогетерогенных системах, совместимости контактирующих материалов, анализа критееиев,позволяющих прогнозировать физико-химический характер взаимодеиствия с использованием диаграмм фазовых равновесии.
Для студентов,изучающих технологию микроэлектроники и радиотехнических микроэлектронных устройств, аспирантов и специалистов.