Подробное описание документа

Родионов И. А.
   Разработка литографических процессов изготовления сбис с размерами элементов меньше длины волны экспонирующего излучения : дис... ктн : 05. 11. 14 / Родионов И. А. ; МГТУ им. Н. Э. Баумана. - М., 2010. - 165 л. - Библиогр.: л. 154-162.

УДК

621.3.049.77 Микроэлектроника. Интегральные схемы

Предметные рубрики

• Интегральные схемы большие - Диссертации

Общее кол-во в фондах

1 экз.

1. Преподавательский абонемент ауд.305л, УЛК, ауд. 305л
2. Читальный зал ауд.305л, УЛК, ауд. 305л