Подробное описание документа

   Магнитореологические устройства активной виброизоляции и позиционирования для нанотехнологического оборудования / Михайлов В. П., Степанов Г. В., Базиненков А. М., Кузнецов А. С., Зобов И. К. // Вестник МГТУ им. Н. Э. Баумана. Сер. Приборостроение. - 2010. - № спецвыпуск. - С. 138-148.

УДК

620.3 Нанотехнология

Авторы МГТУ

• Михайлов Валерий Павлович

Статья опубликована в следующих изданиях