Подробное описание документа

Статья

Родионов И. А., Шахнов В. А.
Расчет значений весовых коэффициентов топологических структур для калибровки литографических моделей / Родионов И. А., Шахнов В. А. // Вестник МГТУ им. Н. Э. Баумана. Сер. Приборостроение. - 2010. - № спецвыпуск. - С. 149-160.

УДК
621.3.049.77 Микроэлектроника. Интегральные схемы

Авторы МГТУ

Шахнов Вадим Анатольевич

Статья опубликована в следующих изданиях

с. 149-160

Журнал

Вестник МГТУ им. Н. Э. Баумана. Сер. Приборостроение.
№ спецвыпуск. - 2010.

подробнее