Подробное описание документа

   Статья

   Технологический вариант реализации конструкции БИС преобразователя емкость-напряжение для микроэлектрических датчиков / Белоус А. И., Гасенкова И. В., Дрозд С. Е., Коннов Е. В., Мухуров Н. И., Белоус В. А. // Нано- и микросистемная техника. - 2010. - № 8. - С. 2-6.

УДК

621.382 Электронные элементы, использующие свойства твердого тела. Полупроводниковая электроника

Статья опубликована в следующих изданиях

с. 2-6

   Журнал

   Нано- и микросистемная техника.
   № 8. - 2010.

подробнее