Подробное описание документа

Драгунов В. П., Остертак Д. И.
   Электростатические взаимодействия в МЭМС с плоскопараллельными электродами. Часть II. Расчет электростатических сил / Драгунов В. П., Остертак Д. И. // Нано- и микросистемная техника. - 2010. - № 8. - С. 40-47.

УДК

621.3.049 Конструирование электрических цепей

Статья опубликована в следующих изданиях