Подробное описание документа

   Введение в процессы интегральных микро- и нанотехнологий : [учеб. пособие для вузов] : в 2 т. / общ. ред. Коркишко Ю. Н. - М. : БИНОМ. Лаборатория знаний, 2010. - (Нанотехнологии). - ISBN 978-5-9963-0341-0.
   Т. 2 : Технологические аспекты / Акуленок М. В., Андреев В. М., Громов Д. Г. [и др.]. - 2011. - 252 с. : ил. - Библиогр.: с. 243-248. - ISBN 978-5-9963-0336-6.

Разделение данной книги на 2 тома обусловлено большим объемом материала,касающегося интегральных микро- и нанотехнологий; при этом каждый из томов представляет вполне самостоятельный интерес.
Во втором томе изложены технологические и конструктивные основы и особенности методов формирования и «сухого» травления на поверхности подложки тонких слоев и локальных областей проводящих, диэлектрических и полупроводниковых материалов в условиях уменьшения размеров элементов до нанометрового диапазона для интегральных технологии микро- и наноэлектроники, оптоэлектроники, микросистемной техники. Рассматриваются эпитаксиальные процессы, процессы вакуум-термического и ионно-плазменного осаждения, ионного, ионно-химического и плазмохимического травления, термического окисления, методы легирования термической диффузией и ионной имплантацией, а также процессы фотолитографии.
Для студентов и аспирантов высших учебных заведений,специализирующихся в области микро- и наноэлектроники, микроэлектромеханичсских систем, физики твердого тела, материаловедения. Книга может быть полезна инженерно-техническим работникам соответствующих областей.