Подробное описание документа
Томилин В. И.
Физико-химические основы технологии электронных средств : учебник для вузов / Томилин В. И. - М. : Академия, 2010. - 409 с. : ил. - (Высшее профессиональное образование. Радиоэлектроника). - Библиогр.:
Изложены современные представления о физико-химических основах технологических процессов электроники, особенности термодинамики химических и фазовых равновесий, кинетические характеристики процессов. Рассмотрены процессы зародышеобразования, роста слоев новой фазы, методы проведения термодинамического анализа.
Для студентов высших учебных заведений.
621.38 Электроника. Фотоэлектроника. Электронные лампы. Трубки. Рентгенотехника. Ускорители частиц1 экз.![]()
- Преподавательский абонемент ауд.305л, УЛК, ауд. 305л
- Читальный зал ауд.305л, УЛК, ауд. 305л