Герб МГТУ им. Н.Э. БауманаНаучно-техническая библиотека МГТУ им. Н.Э. Баумана

Подробное описание документа

Томилин В. И.
   Физико-химические основы технологии электронных средств : учебник для вузов / Томилин В. И. - М. : Академия, 2010. - 409 с. : ил. - (Высшее профессиональное образование. Радиоэлектроника). - Библиогр.: с. 404-405. - ISBN 978-5-7695-4712-6.

Изложены современные представления о физико-химических основах технологических процессов электроники, особенности термодинамики химических и фазовых равновесий, кинетические характеристики процессов. Рассмотрены процессы зародышеобразования, роста слоев новой фазы, методы проведения термодинамического анализа.
Для студентов высших учебных заведений.

621.38 Электроника. Фотоэлектроника. Электронные лампы. Трубки. Рентгенотехника. Ускорители частиц
1 экз.
Вы можете получить данный документ в одном из следующих отделов
  1. Преподавательский абонемент ауд.305л, УЛК, ауд. 305л
  2. Читальный зал ауд.305л, УЛК, ауд. 305л