Подробное описание документа

Исследование технологических процессов и приборов микроэлектроники : сборник статей / РАН ; отв. ред. тома Курчидис В. А. - М. : Наука. Физматлит, 1997. - 168 с. : ил. - (Труды/Физико-технологический институт ; т. 12). - Библиогр. в конце ст. - ISBN 5-02-015107-6.

УДК
621.382 Электронные элементы, использующие свойства твердого тела. Полупроводниковая электроника

Предметные рубрики

Микроэлектроника

Общее кол-во в фондах
2 экз.

Заказать на абонемент

Заказать в читальный зал

Вы можете получить данный документ в одном из следующих отделов

Преподавательский абонемент ауд.313, ГУК, ауд. 313
Читальный зал ауд.313, ГУК, ауд. 313