Подробное описание документа

   Лазерный рефлектометрический метод измерения толщины и оптических характеристик тонких пленок в процессе их роста / Белов М. Л., Белов А. М., Городничев В. А., Козинцев В. И., Федотов Ю. В. // Вестник МГТУ им. Н. Э. Баумана. Сер. Приборостроение. - 2011. - № 2. - С. 16-24.

УДК

551.501 Методы наблюдений и обработки данных. Обсерватории

Авторы МГТУ

• Белов Михаил Леонидович
• Белов Андрей Михайлович
• Городничев Виктор Александрович
• Козинцев Валентин Иванович
• Федотов Юрий Викторович

Статья опубликована в следующих изданиях