Подробное описание документа
Экспериментальное исследование силовых характеристик рабочего элемента тепловых микроактюаторов / Козлов Д. В., Смирнов И. П., Жуков А. А., Шахнов В. А. // Вестник МГТУ им. Н. Э. Баумана. Сер. Приборостроение. - 2011. - № 2. -
Рассмотрена методика измерения силовых характеристик балок тепловых микроактюаторов, подвергаемых воздействию контролируемой нагрузки. Методика реализована с использованием высокоточных прецизионных весов и гониометра. Проведены серии испытаний и экспериментально получены максимальные значения нагрузок, возникающих на хвостовике балки теплового микроактюатора. Исследованы зависимости силовых характеристик от толщины напыленного слоя металла и толщины полиимида в канавке микроактюатора, а также деградация силовых характеристик при многоцикловом изгибе тепловых микроактюаторов с контролируемым содержанием нанотрубок и без них.
621.486 с использованием энергии изменения объема твердых, жидких и газообразных веществ (тел)
