Подробное описание документа

Глушко А. А., Шахнов В. А.
   Параметры рузистивных структур на поликристаллическом кремнии / Глушко А. А., Шахнов В. А. // Вестник МГТУ им. Н. Э. Баумана. Сер. Приборостроение. - 2011. - № 1. - С. 67-75.

УДК

004.942 Исследование поведения объекта на основе его математической модели

Авторы МГТУ

• Глушко Андрей Александрович
• Шахнов Вадим Анатольевич

Статья опубликована в следующих изданиях