Подробное описание документа
Статья
Глушко А. А.
Параметры рузистивных структур на поликристаллическом кремнии / Глушко А. А., Шахнов В. А. // Вестник МГТУ им. Н. Э. Баумана. Сер. Приборостроение. - 2011. - № 1. -
004.942 Исследование поведения объекта на основе его математической модели