Подробное описание документа

Статья

Алгоритмы трансформации топологии субмикронных сверхбольших интегральных схем / Шахнов В. А., Зинченко Л. А., Резчикова Е. В., Аверьянихин А. Е. // Вестник МГТУ им. Н. Э. Баумана. Сер. Приборостроение. - 2011. - № 1. - С. 76-87.

Читать онлайн

Скачать документ

Полнотекстовый документ

vestnikprib.bmstu.ru/catalog/techno/hidden/36.html

https://vestnikprib.bmstu.ru/catalog/tec…

Аннотация

Описаны алгоритмы трансформации топологии субмикронных СБИС, ориентированные на применение для некоторых классов сложнофункциональных блоков, проектируемых для последующего производства по технологии двойного фотошаблона и удовлетворяющих условиям воспроизведения заданной топологии по технологии двойного фотошаблона. Показано, что для решения проблемы нахождения проектных решений необходимо использование приемов разрешения технических противоречий.

УДК
658.51 Организация производственного процесса

Авторы МГТУ

Шахнов Вадим Анатольевич

Зинченко Людмила Анатольевна

Резчикова Елена Викентьевна

Аверьянихин Артур Евгеньевич

Статья опубликована в следующих изданиях

с. 76-87

Журнал

Вестник МГТУ им. Н. Э. Баумана. Сер. Приборостроение. - ISSN 0236-3933 (print). - ISSN 2687-0614 (web).
№ 1. - 2011.

подробнее