Подробное описание документа
Зебрев Г. И.
Физические основы кремниевой наноэлектроники : учеб. пособие / Зебрев Г. И. - М. : БИНОМ. Лаборатория знаний, 2011. - 240 с. : ил. - (Нанотехнологии). - Библиогр.:
Книга посвящена описанию основных физических принципов, структур и методов моделирования, а также тенденций развития современной и перспективной кремниевой наноэлектроники с технологическими нормами менee 100 нм.
Для преподавателей и студентов, специализирующихся по направлениям микро- и наноэлектроники, электроники, электронных измерительных систем. Может быть использована в учебном процессе при подготовке учебных курсов «Физические основы наноэлектроники», «Наноэлектронные технологии», «Физика микроэлектронных структур».
621.38-022.532 Наноэлектроника4 экз.![]()
- Преподавательский абонемент ауд.305л, УЛК, ауд. 305л
- Преподавательский абонемент ауд.313, ГУК, ауд. 313
- Читальный зал ауд.305л, УЛК, ауд. 305л
- Читальный зал ауд.313, ГУК, ауд. 313
Похожие издания

Физические основы кремниевой наноэлектроники : учебное пособие / Зебрев Г. И. - М. : БИНОМ. Лаборатория знаний, 2017. - 240 с. : ил. - (Нанотехнологии). - Библиогр.: