Подробное описание документа

Варламов П. И., Елсуков К. А., Макарчук В. В.
Технологические процессы в наноинженерии : учеб. -метод. комплекс по тем. направлению деятельности ННС "Наноинженерия" : учеб. пособие для вузов / Варламов П. И., Елсуков К. А., Макарчук В. В. ; ред. Шахнов В. А. - М. : Изд-во МГТУ им. Н. Э. Баумана, 2011. - 175 с. : ил. - (Библиотека "Наноинженерия" : в 17 кн. ; кн. 2). - Библиогр.: с. 173. - ISBN 978-5-7038-3493-0.

Читать онлайн

Айбукс

Войти и читать

https://ibooks.ru/products/363830

Лань

Войти и читать

https://e.lanbook.com/book/106512

Аннотация

Методические материалы по дисциплине «Технологические процессы в наноинженерии» содержат нормативную базу дисциплины, рекомендации по организации и проведению лекций, практических занятий, семинаров, лабораторных работ и деловых игр, перечень учебных видео- и аудиоматериалов, слайдов, типовых rшакатов и другие дидактические материалы для работы профессорско-преподавательского состава по данной дисциплине.
Для студентов, аспирантов и преподавателей высших технических учебных заведений по направлению подготовки «Нанотехнология» с профилем подготовки «Наноинженерия». Будет полезен всем, занимающимся вопросами нанотехнологий, наноинженерии, проектированием МЭМС и НЭМС, созданием электронных систем различного назначения.

УДК
621.382:620.3

Предметные рубрики

Микроэлектронные приборы - Учебники и пособия

Нанотехнологии - Учебники и пособия

Авторы МГТУ

Макарчук Владимир Васильевич

Общее кол-во в фондах
98 экз.

Заказать на абонемент

Заказать в читальный зал

Вы можете получить данный документ в одном из следующих отделов

Абонемент старших курсов, ГУК, ауд. 213
Преподавательский абонемент ауд.305л, УЛК, ауд. 305л
Преподавательский абонемент ауд.313, ГУК, ауд. 313
Читальный зал ауд.305л, УЛК, ауд. 305л
Читальный зал ауд.313, ГУК, ауд. 313
Читальный зал ауд.345, ГУК, ауд. 345

Подробное описание документа

Похожие издания