Подробное описание документа

Бодин В. В., Башков В. М., Михалев П. А.
   Исследование процессов газовыделения-пленкоосаждения неметаллических материалов при термовакуумном воздействии методами нанодиагностики / Бодин В. В., Башков В. М., Михалев П. А. // Наноинженерия. - 2011. - № 3. - С. 3-9.

УДК

533.59 Испытания в вакууме. Вакуумные установки

Авторы МГТУ

• Башков Валерий Михайлович
• Михалев Павел Андреевич

Статья опубликована в следующих изданиях