Подробное описание документа

   Системы точного позиционирования и активной виброизоляции для нанотехнологического оборудования / Михайлов В. П., Базиненков А. М., Зобов И. К., Шаков К. Г., Хвостов А. А. // Наноинженерия. - 2011. - № 3. - С. 16-25.

УДК

533.5 Разреженные газы. Физика вакуума. Вакуумная техника

Авторы МГТУ

• Михайлов Валерий Павлович
• Базиненков Алексей Михайлович

Статья опубликована в следующих изданиях