Подробное описание документа

Тимошенков С. П., Калугин В. В.
   Учебное пособие по дисциплине "Технология наносистем" : [учебно-методический комплекс для бакалавров. Направление "Наноэлектроника"] / Тимошенков С. П., Калугин В. В. ; Нац. исслед. ун-т "МИЭТ". - М. : Изд-во МИЭТ, 2011. - 199 с. : ил. - ISBN 978-5-7256-0663-8.

Представлены технологические аспекты разработки и получения микро- и наносистем. Рассмотрены вопросы разработки процессов жидкостного и плазмохимического травления кремния для получения сложнопрофильных структур, а также вопросы влияния технологических погрешностей в процессах травления, выраженных нанометровыми отклонениями в размерах, на параметры функционирования получаемых изделий. Для обеспечения технологии высокоплотного монтажа показано применение нано-импринт-процессов, обеспечивающих получение коммутационных плат с контактными наноразмерными площадками, и непосредственно процессов монтажа кристаллов с шариковыми выводами. Для обеспечения технологии герметизации наноэлектронных систем рассмотрены вопросы пайки.
Разработано для основной образовательной программы подготовки бакалавров по направлению 210100 "Электроника и наноэлектроника", соответствующей тематическому направлению деятельности же "Наноэлектроника".
Предназначено для студентов, изучающих дисциплину "Технология наносистем".