Подробное описание документа

Тимошенков С. П., Калугин В. В.
   Учебно-методическое пособие для самостоятельной работы студентов по дисциплине "Технология наносистем" : [учебно-методический комплекс для бакалавров. Направление "Наноэлектроника"] / Тимошенков С. П., Калугин В. В. ; Нац. исслед. ун-т "МИЭТ". - М. : Изд-во МИЭТ, 2011. - 24 с. : ил.

Рассмотрены технологические вопросы получения многослойных структур, структур "кремний-на-изоляторе" (КИИ) для микро- и наносистем. Представлены различные подходы обеспечения заданной толщины приборного слоя структур КИИ. Рассмотрены основные технологические процессы формирования структур методом сращивания кремниевых пластин и газового скалывания части приборного слоя.
Разработано для основной образовательной программы подготовки бакалавров по направлению 21 0100 "Электроника и наноэлектроника", соответствующей тематическому направлению деятельности ННС "Наноэлектроника".
Предназначено для студентов, изучающих дисциплину "Технология наносистем" .