Подробное описание документа

Неволин В. К.
   Лабораторный практикум по дисциплине "Зондовые методы создания структур наноэлектроники" : [учебно-методический комплекс для магистров. Направление "Наноэлектоника"] / Неволин В. К. ; Нац. исслед. ун-т "МИЭТ". - М. : Изд-во МИЭТ, 2011. - 48 с. : ил. - Библиогр. в конце работ.

Аннотация

Содержит две лабораторные работы по курсу "3ондовые методы создания структур наноэлектроники". Рассмотрены методы сканирующей туннельной микроскопии и атомно-силовой микроскопии.
Разработан для основной образовательной программы подготовки магистров по направлению 21О100 "Электроника и наноэлектроника", соответствующей тематическому направлению деятельности ННС "Наноэлектроника".
Для студентов технических университетов, проходящих подготовку по специальности 073800 "Наноматериалы", 658300 "Нанотехнология" и 202000 "Нанотехнология в электронике", изучающих курс "3ондовые методы создания структур наноэлектроники" на уровне магистров.

УДК

621.38-022.532 Наноэлектроника

Предметные рубрики

• Нанотехнологии - Лабораторная практика

Общее кол-во в фондах

1 экз.

1. Преподавательский абонемент ауд.305л, УЛК, ауд. 305л
2. Читальный зал ауд.305л, УЛК, ауд. 305л