Подробное описание документа

Неволин В. К.
   Учебное пособие по дисциплине "Зондовые методы создания структур наноэлектроники" : [учебно-методический комплекс для магистров. Направление "Наноэлектоника"] / Неволин В. К. ; Нац. исслед. ун-т "МИЭТ". - М. : Изд-во МИЭТ, 2011. - 195 с. : ил. - Библиогр.: с. 185-191. - ISBN 978-5-7256-0662-1.

Приведены физические основы зондовой нанотехнологии на базе сканирующих туннельных и атомно-силовых микроскопов. В качестве дополнения издан также лабораторный практикум, необходимый для полноценного изучения дисциплины.
Разработано для основной образовательной программы подготовки магистров по направлению 21О100 "Электроника и наноэлектроника", соответствующей тематическому направлению деятельности ННС "Наноэлектроника".
Для студентов технических университетов, проходящих подготовку по специальности 073800 "Наноматериалы", 658300 "Нанотехнология" и 202000 "Нанотехнология в электронике", изучающих курс "3ондовые методы создания структур наноэлектроники" на уровне бакалавров.