Подробное описание документа

   Статья

   Исследование антифрикционных упрочняющих нанокомпозитных покрытий на основе планарных структур, формируемых методами магнетронного осаждения и размерной обработки тонких пленок / Беликов А. И., Петров В. В., Седых Н. С., Шарапков М. А. // Известия ВУЗов. Сер. "Машиностроение". - 2012. - Спец. вып. Работы студентов : и молодых ученых МГТУ им. Н. Э. Баумана. - С. 81-89.

УДК

621.793.182 Катодное распыление

Авторы МГТУ

• Беликов Андрей Иванович

Статья опубликована в следующих изданиях

с. 81-89

   Журнал

   Известия ВУЗов. Сер. "Машиностроение".
   Спец. вып. Работы студентов : и молодых ученых МГТУ им. Н. Э. Баумана. - 2012.

подробнее