Подробное описание документа

   Плазмохимический метод прямого получения кремния из кварца / Гришин Ю. М., Козлов Н. П., Кулагин А. Ю., Скрябин А. С. // Вестник МГТУ им. Н. Э. Баумана. Сер. Машиностроение. - 2011. - Спец. вып. Ионно-плазменные технологии. - С. 88-96.

УДК

533.92 Реакции, происходящие в плазме, включая внутриатомные. Скорость реакций

Авторы МГТУ

• Гришин Юрий Михайлович
• Козлов Николай Павлович
• Кулагин Алексей Юрьевич
• Скрябин Андрей Станиславович

Статья опубликована в следующих изданиях

Похожие издания