Подробное описание документа
Статья
Михайлов В. П.
Управление виброизоляцией прецизионного вакуумного оборудования / Михайлов В. П. // Вакуумная техника и технология. - 2012. - Т. 22, № 2. -
533.5 Разреженные газы. Физика вакуума. Вакуумная техника