Подробное описание документа
Статья
Шаков К. Г.
Активная виброизоляция вакуумного оборудования / Шаков К. Г. // Вакуумная техника и технология. - 2012. - Т. 22, № 2. -
533.5 Разреженные газы. Физика вакуума. Вакуумная техника