Подробное описание документа

Базиненков А. М.
   Система точного позиционирования и активной виброизоляции на базе гидравлического модуля с магнитореологическим управлением для прецизионного вакуумного оборудования / Базиненков А. М. // Вакуумная техника и технология. - 2012. - Т. 22, № 2. - С. 95-96.

УДК

533.599 Вакуумные установки

Авторы МГТУ

• Базиненков Алексей Михайлович

Статья опубликована в следующих изданиях