Подробное описание документа
Статья
Базиненков А. М.
Система точного позиционирования и активной виброизоляции на базе гидравлического модуля с магнитореологическим управлением для прецизионного вакуумного оборудования / Базиненков А. М. // Вакуумная техника и технология. - 2012. - Т. 22, № 2. -
533.599 Вакуумные установки