Герб МГТУ им. Н.Э. БауманаНаучно-техническая библиотека МГТУ им. Н.Э. Баумана

Подробное описание документа

Александров С. Е., Греков Ф. Ф.
   Технология полупроводниковых материалов : учеб. пособие / Александров С. Е., Греков Ф. Ф. - 2-е изд., испр. - СПб. : Лань, 2012. - 230 с. : ил. - (Учебники для вузов. Специальная литература). - Библиогр.: с. 227. - ISBN 978-5-8114-1290-7.

Представлена технология и техника производства полупроводниковых материалов, имеющих широкое применение в электронной промышленности. Рассмотрены основные физические и химические свойства элементарных полупроводников и компонентов бинарных соединений, необходимые для обоснования рациональных приемов их глубокой очистки, синтеза и получения в виде массивных монокристаллов.
Приведены традиционные и новейшие технологические схемы и технические решения, даны краткие описания оборудования, позволяющие формировать оптимальvые схемы производства с учетом требований к качеству продукции.
Пособие предназначено для студентов вузов, обучающихся по магистерской программе "Современные проблемы материаловедения" направления подготовки магистров "Материаловедение и технология материалов". Оно также может быть использовано при обучении в системах повышения квалификации и в учреждениях дополнительного профессионального образования.

621.315.592 Полупроводники
8 экз.
Вы можете получить данный документ в одном из следующих отделов
  1. Абонемент старших курсов, ГУК, ауд. 213
  2. Преподавательский абонемент ауд.305л, УЛК, ауд. 305л
  3. Преподавательский абонемент ауд.313, ГУК, ауд. 313
  4. Читальный зал ауд.305л, УЛК, ауд. 305л
  5. Читальный зал ауд.313, ГУК, ауд. 313
  6. Читальный зал ауд.345, ГУК, ауд. 345

Похожие издания

Александров, С. Е. Технология полупроводниковых материалов : учебное пособие / С. Е. Александров, Ф. Ф. Греков. — 2-е изд., испр. — Санкт-Петербург : Лань, 2022. — 240 с. — ISBN 978-5-8114-1290-7.
ЭБС «Лань»