Подробное описание документа
Александров С. Е.
Технология полупроводниковых материалов : учеб. пособие / Александров С. Е., Греков Ф. Ф. - 2-е изд., испр. - СПб. : Лань, 2012. - 230 с. : ил. - (Учебники для вузов. Специальная литература). - Библиогр.:
Представлена технология и техника производства полупроводниковых материалов, имеющих широкое применение в электронной промышленности. Рассмотрены основные физические и химические свойства элементарных полупроводников и компонентов бинарных соединений, необходимые для обоснования рациональных приемов их глубокой очистки, синтеза и получения в виде массивных монокристаллов.
Приведены традиционные и новейшие технологические схемы и технические решения, даны краткие описания оборудования, позволяющие формировать оптимальvые схемы производства с учетом требований к качеству продукции.
Пособие предназначено для студентов вузов, обучающихся по магистерской программе "Современные проблемы материаловедения" направления подготовки магистров "Материаловедение и технология материалов". Оно также может быть использовано при обучении в системах повышения квалификации и в учреждениях дополнительного профессионального образования.
621.315.592 Полупроводники8 экз.
- Абонемент старших курсов, ГУК, ауд. 213
- Преподавательский абонемент ауд.305л, УЛК, ауд. 305л
- Преподавательский абонемент ауд.313, ГУК, ауд. 313
- Читальный зал ауд.305л, УЛК, ауд. 305л
- Читальный зал ауд.313, ГУК, ауд. 313
- Читальный зал ауд.345, ГУК, ауд. 345