Подробное описание документа
Статья
Цветков Ю. Б.
Процессы и оборудование микротехнологии. Модуль 1. Часть II. Конспект лекций / Цветков Ю. Б. // Наноинженерия. - 2012. - № 7. -
621.37 Радиотехника. Техника электромагнитных колебаний
Статья опубликована в следующих изданиях
с. 34-39
Журнал
Наноинженерия.
№ 7. - 2012.
№ 7. - 2012.