Подробное описание документа

Малов И. Е., Шиганов И. Н.
   Лазеры в микроэлектронике : учеб. пособие для вузов / Малов И. Е., Шиганов И. Н. ; МГТУ им. Н. Э. Баумана. - М. : Изд-во МГТУ им. Н. Э. Баумана, 2012. - 73 с. : ил. - Библиогр.: с. 73.

Читать онлайн Аннотация

Учебное пособие состоит из четырех разделов, посвященных лазерной обработке материалов, используемых в микроэлектронике. Рассмотрены такие часто используемые процессы, как обработка по¬лупроводников и отжиг имплантированных слоев в полупроводниках, перекристаллизация и стабилизация параметров тонких слоев в полупроводниках, модифицирование и изменение химического состава поверхностных слоев путем лазерного напыления тонких пленок, осаждение пленок из газовой фазы и растворов.
Большое внимание уделено вопросам обработки тонких пленок в виде лазерной подгонки пленочных резисторов, конденсаторов; вопросам лазерной литографии, записи информации.
Для студентов старших курсов, обучающихся по специальности «Машины и технология высокоэффективных процессов обработки материалов».

УДК

621.375.826 Оптические мазеры (лазеры)

Предметные рубрики

• Лазеры - Учебники и пособия

Авторы МГТУ

• Малов Илья Евгеньевич
• Шиганов Игорь Николаевич

Общее кол-во в фондах

40 экз.

1. Абонемент научной литературы ГУК, ГУК, ауд. 313
2. Абонемент научной литературы УЛК, УЛК, ауд. 119л
3. Абонемент старших курсов, ГУК, ауд. 213
4. Абонемент третьего курса, УЛК, ауд. 311л
5. Читальный зал младших курсов №1, УЛК, ауд. 305л
6. Читальный зал младших курсов №2, УЛК, ауд. 221л
7. Читальный зал старших курсов, ГУК, ауд. 313
8. Читальный зал третьего курса, ГУК, ауд. 345