Герб МГТУ им. Н.Э. БауманаНаучно-техническая библиотека МГТУ им. Н.Э. Баумана

Подробное описание документа

Малов И. Е., Шиганов И. Н.
   Лазеры в микроэлектронике : учеб. пособие для вузов / Малов И. Е., Шиганов И. Н. ; МГТУ им. Н. Э. Баумана. - М. : Изд-во МГТУ им. Н. Э. Баумана, 2012. - 73 с. : ил. - Библиогр.: с. 73.

Скачать документ
Электронная версия, предоставленная издательством
Издательство МГТУ им. Н.Э. Баумана

Учебное пособие состоит из четырех разделов, посвященных лазерной обработке материалов, используемых в микроэлектронике. Рассмотрены такие часто используемые процессы, как обработка по¬лупроводников и отжиг имплантированных слоев в полупроводниках, перекристаллизация и стабилизация параметров тонких слоев в полупроводниках, модифицирование и изменение химического состава поверхностных слоев путем лазерного напыления тонких пленок, осаждение пленок из газовой фазы и растворов.
Большое внимание уделено вопросам обработки тонких пленок в виде лазерной подгонки пленочных резисторов, конденсаторов; вопросам лазерной литографии, записи информации.
Для студентов старших курсов, обучающихся по специальности «Машины и технология высокоэффективных процессов обработки материалов».

621.375.826 Оптические мазеры (лазеры)
39 экз.
Вы можете получить данный документ в одном из следующих отделов
  1. Абонемент старших курсов, ГУК, ауд. 213
  2. Абонемент третьего курса, УЛК, ауд. 311л
  3. Преподавательский абонемент ауд.305л, УЛК, ауд. 305л
  4. Преподавательский абонемент ауд.313, ГУК, ауд. 313
  5. Читальный зал ауд.305л, УЛК, ауд. 305л
  6. Читальный зал ауд.313, ГУК, ауд. 313
  7. Читальный зал ауд.345, ГУК, ауд. 345