Подробное описание документа

Малов И. Е., Шиганов И. Н.
Лазеры в микроэлектронике : учеб. пособие для вузов / Малов И. Е., Шиганов И. Н. ; МГТУ им. Н. Э. Баумана. - М. : Изд-во МГТУ им. Н. Э. Баумана, 2012. - 73 с. : ил. - Библиогр.: с. 73.

Читать онлайн

Скачать документ

Электронная версия, предоставленная издательством

Издательство МГТУ им. Н.Э. Баумана

https://press.bmstu.ru/catalog/item/770/

Аннотация

Учебное пособие состоит из четырех разделов, посвященных лазерной обработке материалов, используемых в микроэлектронике. Рассмотрены такие часто используемые процессы, как обработка по¬лупроводников и отжиг имплантированных слоев в полупроводниках, перекристаллизация и стабилизация параметров тонких слоев в полупроводниках, модифицирование и изменение химического состава поверхностных слоев путем лазерного напыления тонких пленок, осаждение пленок из газовой фазы и растворов.
Большое внимание уделено вопросам обработки тонких пленок в виде лазерной подгонки пленочных резисторов, конденсаторов; вопросам лазерной литографии, записи информации.
Для студентов старших курсов, обучающихся по специальности «Машины и технология высокоэффективных процессов обработки материалов».

УДК
621.375.826 Оптические мазеры (лазеры)

Предметные рубрики

Лазеры - Учебники и пособия

Авторы МГТУ

Малов Илья Евгеньевич

Шиганов Игорь Николаевич

Общее кол-во в фондах
39 экз.

Заказать на абонемент

Заказать в читальный зал

Вы можете получить данный документ в одном из следующих отделов

Абонемент старших курсов, ГУК, ауд. 213
Абонемент третьего курса, УЛК, ауд. 311л
Преподавательский абонемент ауд.305л, УЛК, ауд. 305л
Преподавательский абонемент ауд.313, ГУК, ауд. 313
Читальный зал ауд.305л, УЛК, ауд. 305л
Читальный зал ауд.313, ГУК, ауд. 313
Читальный зал ауд.345, ГУК, ауд. 345