Герб МГТУ им. Н.Э. БауманаНаучно-техническая библиотека МГТУ им. Н.Э. Баумана

Подробное описание документа

   Статья

Цветков Ю. Б.
   Процессы и оборудование микротехнологии. Модуль2. Часть 1 / Цветков Ю. Б. // Наноинженерия. - 2012. - № 8. - С. 32-36.

372.8 Преподавание отдельных учебных предметов

Статья опубликована в следующих изданиях

с. 32-36
   Журнал
   Наноинженерия.
   № 8. - 2012.