Подробное описание документа
Статья
Цветков Ю. Б.
Процессы и оборудование микротехнологии. Модуль2. Часть 1 / Цветков Ю. Б. // Наноинженерия. - 2012. - № 8. -
372.8 Преподавание отдельных учебных предметов
Статья опубликована в следующих изданиях
с. 32-36
Журнал
Наноинженерия.
№ 8. - 2012.
№ 8. - 2012.