Подробное описание документа

Статья

Цветков Ю. Б.
Процессы и оборудование микротехнологии. Модуль 2. Часть II / Цветков Ю. Б. // Наноинженерия. - 2012. - № 10. - С. 27-34.

УДК
378 Высшее образование. Высшая школа. Подготовка научных кадров

Авторы МГТУ

Цветков Юрий Борисович

Статья опубликована в следующих изданиях

с. 27-34

Журнал

Наноинженерия.
№ 10. - 2012.

подробнее