Подробное описание документа

   Статья

Цветков Ю. Б.
   Процессы и оборудование микротехнологии. Модуль 2. Часть II / Цветков Ю. Б. // Наноинженерия. - 2012. - № 10. - С. 27-34.

УДК

378 Высшее образование. Высшая школа. Подготовка научных кадров

Авторы МГТУ

• Цветков Юрий Борисович

Статья опубликована в следующих изданиях

с. 27-34

   Журнал

   Наноинженерия.
   № 10. - 2012.

подробнее