Подробное описание документа

   Статья

   Инжекционные методы контроля подзатворного диэлектрика МДП-ИМС / Андреев В. В., Столяров А. А., Дмитриев В. Г., Романов А. В. // Наукоемкие технологии. - 2012. - Т. 13, № 10. - С. 20-28.

УДК

621.38 Электроника. Фотоэлектроника. Электронные лампы. Трубки. Рентгенотехника. Ускорители частиц

Авторы МГТУ

• Андреев Владимир Викторович
• Столяров Александр Алексеевич

Статья опубликована в следующих изданиях

с. 20-28

   Журнал

   Наукоемкие технологии.
   Т. 13, № 10. - 2012.

подробнее