Подробное описание документа

   Эмиссионный спектральный анализ в технологический процессах радиоэлектроники / Сухов Е. В., Маш Л. Д., Пролейко Э. П., Бруггер В. Э., Белов Е. С. // Наукоемкие технологии. - 2012. - Т. 13, № 10. - С. 53-57.

УДК

519.8.629.7

Авторы МГТУ

• Белов Е. С.

Статья опубликована в следующих изданиях