Подробное описание документа
Статья
Козьмин Г. В.
Экологически безопасные и энергосберегающие наукоемкие технологии с использованием вакуумных и плазменных приборов / Козьмин Г. В., Коржавый А. П., Санжарова Н. И. // Наукоемкие технологии. - 2012. - Т. 13, № 10. -
6-022.532 нанотехнологии
Статья опубликована в следующих изданиях
с. 63-74
Журнал
Наукоемкие технологии.
Т. 13, № 10. - 2012.
Т. 13, № 10. - 2012.