Подробное описание документа

Статья

Полиномиальная модель химико-механической планаризации в производстве субмикронных СБИС / Амирханов А. В., Гладких А. А., Макарчук В. В., Пшенников А. Г., Шахнов В. А. // Вестник МГТУ им. Н. Э. Баумана. Сер. Приборостроение. - 2012. - № 2. - С. 20-36.

Читать онлайн

Скачать документ

Полнотекстовый документ

vestnikprib.bmstu.ru/catalog/techno/hidden/84.html

https://vestnikprib.bmstu.ru/catalog/tec…

Аннотация

Рассмотрены особенности технологической операции химикомеханической планаризации при формировании межслойной изоляции в СБИС. Проведен анализ модели операции химикомеханической планаризации на основе преобразованного уравнения Престона и модели, учитывающей временную зависимость скорости планаризации. Предложена полиномиальная модель химико-механической планаризации. Проведено сравнение результатов моделирования с использованием рассмотренных моделей.

УДК
004.94 Имитационное компьютерное моделирование

Авторы МГТУ

Макарчук Владимир Васильевич

Шахнов Вадим Анатольевич

Статья опубликована в следующих изданиях

с. 20-36

Журнал

Вестник МГТУ им. Н. Э. Баумана. Сер. Приборостроение. - ISSN 0236-3933 (print). - ISSN 2687-0614 (web).
№ 2. - 2012.

подробнее