Подробное описание документа

   Полиномиальная модель химико-механической планаризации в производстве субмикронных СБИС / Амирханов А. В., Гладких А. А., Макарчук В. В., Пшенников А. Г., Шахнов В. А. // Вестник МГТУ им. Н. Э. Баумана. Сер. Приборостроение. - 2012. - № 2. - С. 20-36.

УДК

004.94 Имитационное компьютерное моделирование

Авторы МГТУ

• Макарчук Владимир Васильевич
• Шахнов Вадим Анатольевич

Статья опубликована в следующих изданиях