Подробное описание документа
Статья
Полиномиальная модель химико-механической планаризации в производстве субмикронных СБИС / Амирханов А. В., Гладких А. А., Макарчук В. В., Пшенников А. Г., Шахнов В. А. // Вестник МГТУ им. Н. Э. Баумана. Сер. Приборостроение. - 2012. - № 2. -
004.94 Имитационное компьютерное моделирование