Подробное описание документа

   Высокие технологии в промышленности России (материалы и устройства функциональной электроники и микрофотоники): материалы XVII междунар. научно-техн. конф., Москва, 8-10 сентября 2011 г. Тонкие пленки в электронике: материалы XXIV междунар. симп., Москва, 8-10 сентября 2011 г. Наноинженерия: материалы IV междунар. научно-техн. конф. Москва, 8-10 сентября 2011 г. : сборник / МГТУ им. Н. Э. Баумана, Центральный научно-исслед. технологический ин-т "ТЕХНОМАШ". - М. : Изд-во ОАО ЦНИТИ "Техмаш", 2011. - 528 с. : ил. - Библиогр. в конце ст. - ISBN 978-5-902740-16-2.

В настоящем сборнике публикуются материалы докладов ХVII Международной научно-технической конференции «Высокие технологии в промышленности России» (Материалы и устройств функциональной электроники и микрофотоники), XXIV Международного симпозиума «Тонкие пленки в электронике» и IV Международной научно-технической конференции «Наноинженерия» по следующим направлениям: системы и устройства радиотехники и средств связи; технологии и оборудование для производства приборов электронной техники и радиоэлектронных устройств; получение, свойства и применение тонких плёнок в электронике; слоистые структуры
основе тонких пленок; методы контроля функциональных свойств материалов электронной техники, измерительная аппаратура и аналитические методы; моделирование и информационное обеспечение исследований, наноинженерия - новое научное направление и направление подготовки студентов; материалы, оборудование и технологии наноэлектроники и микрофотоники; новые технологии производства, обработки и исследования наноструктурированных материалов.
В материалах конференций и симпозиума приводятся новые результаты теоретических и экспериментальных исследований, проведенных авторами в последнее время. Сборник рассчитан на специалистов в таких областях, как тонкие пленки и наноструктурированные материалы, твердотельная электроника и микромеханика, наноэлектроника и микрофотоника, нанотехнологии, электронные технологии и вакуумное технологическое оборудование. Опубликованные материалы особенно полезны молодым ученым, аспирантам и студентам, специализирующимся в указанных направлениях.