Подробное описание документа

   Диэлектрики в наноэлектронике : [монография] / Гриценко В. А., Тысченко И. Е., Попов В. П., Перевалов Т. В. ; РАН, Ин-т физики полупроводников им. А. В. Ржанова ; отв. ред. Асеев А. Л. - Новосибирск : Изд-во СО РАН, 2010. - 257 с. : ил. - Библиогр. в конце гл. - ISBN 978-5-7692-1081-5.

Аннотация

Монография посвящена физике и применению диэлектрических пленок в кремниевых приборах наноэлектроники. Рассмотрены строение пленок оксида и нитрида кремния, полупроводниковые нанокристаллы в диэлектрических пленках, электронная структура диэлектриков с высокой диэлектрической проницаемостью, технология структур кремний-на-изоляторе, физика приборов флэш-памяти.
Монография предназначена для научных сотрудников и инженеров, специализирующихся в области физики полупроводников и полупроводниковых приборов, бакалавров, магистрантов и аспирантов, обучающихся по микроэлектронике и физике твердого тела.

УДК

621.315.592 Полупроводники

Предметные рубрики

• Кремний
• Диэлектрики

Общее кол-во в фондах

7 экз.

1. Преподавательский абонемент ауд.305л, УЛК, ауд. 305л
2. Преподавательский абонемент ауд.313, ГУК, ауд. 313
3. Читальный зал ауд.305л, УЛК, ауд. 305л
4. Читальный зал ауд.313, ГУК, ауд. 313