Подробное описание документа

   Статья

Цветков Ю. Б.
   Процессы и оборудование микротехнологии. Модуль 1. Часть I. Конспект лекций / Цветков Ю. Б. // Наноинженерия. - 2012. - № 6. - С. 30-41.

УДК

620.3 Нанотехнология

Авторы МГТУ

• Цветков Юрий Борисович

Статья опубликована в следующих изданиях

с. 30-41

   Журнал

   Наноинженерия.
   № 6. - 2012.

подробнее