Подробное описание документа
Статья
Цветков Ю. Б.
Процессы и оборудование микротехнологии. Модуль 1. Часть I. Конспект лекций / Цветков Ю. Б. // Наноинженерия. - 2012. - № 6. -
620.3 Нанотехнология