Подробное описание документа

Файнштейн С. М.
   Обработка и защита поверхности полупроводниковых приборов / Файнштейн С. М. - 3-е изд., перераб. - М. : Энергия, 1970. - 294 с. : ил. - Библиогр.: с. 286-294.

В книге рассмотрены физические параметры поверхности полупроводников и методы их определения. Большоe внимание уделено обработке поверхности и происходящим при этом процессам, влиянию обработки поверхности в пазовой фазе на свойства полупроводниковых приборов и методам защиты поверхности, связанным с созданием стабильных характеристик германиевых и кремниевых приборов - одной из наиболее актуальных проблем современной полупроводниковой техники.
Книга предназначена для научных работников, инженеров и студентов, занятых разработкой, усовершенствованием и изучением германиевых и кремниевых полупроводниковых приборов.

УДК

621.38 Электроника. Фотоэлектроника. Электронные лампы. Трубки. Рентгенотехника. Ускорители частиц

Предметные рубрики

• Полупроводниковые приборы - Производство

Общее кол-во в фондах

1 экз.

Заказать в читальный зал

1. Преподавательский абонемент ауд.313, ГУК, ауд. 313
2. Читальный зал ауд.313, ГУК, ауд. 313