Подробное описание документа

Григулис Ю. К.
   Электромагнитный метод анализа слоистых полупроводниковых и металлических структур / Григулис Ю. К. ; Академия наук Латвийской ССР, Физико-энергетический ин-т. - Рига : Зинатне, 1970. - 271 с., [2] л. ил. : ил. - Библиогр.: с. 267-270.

Аннотация

Рассмотрены возможности измерения электрофизических и геометрических параметров слоистых полупроводниковых и металлических структур с использованием особенностей проникновения электромагнитного поля.
Теория метода измерений основана на сопоставлении импеданса структуры с экспериментальными характеристиками электромагнитных волн для электроиндуктивных, волноводных и инфракрасных источников полей при изменении параметров структуры.
Рассмотрены приборы и особенности применения их для контроля покрытий и параметров слоев структур, применяемых в полупроводниковой технике.

УДК

621.315.592 Полупроводники

Предметные рубрики

• Полупроводники слоистые

Общее кол-во в фондах

1 экз.

1. Преподавательский абонемент ауд.313, ГУК, ауд. 313
2. Читальный зал ауд.313, ГУК, ауд. 313