Подробное описание документа

Беликов А. И., Булыгина Е. В., Колесник Л. Л.
   Нанесение тонких пленок в вакууме : метод. указания к ла. работам по курсам "Основы вакуумной технологии" и "Инженерный практикум" / Беликов А. И., Булыгина Е. В., Колесник Л. Л. ; ред. Панфилов Ю. В. ; МГТУ им. Н. Э. Баумана. - М. : Изд-во МГТУ им. Н. Э. Баумана, 2001. - 83 с. : ил. - Библиогр. в конце работ. - ISBN 5-7038-1849-4.

Скачать документ

Полнотекстовый документ

Изложены основные сведения о методах и средствах нанесения тонких пленок в вакууме - одной из широко применяемой в различных областях технологической операции. Рассмотрены наиболее распространенные технологии ионно-лучевой обработки материалов, вакуумного осаждения тонких пленок методом термического испарения и магнетронного распыления. Представлены устройства измерения толщины и износостойкости тонкопленочных покрытий, размещенные в чистом производственном помещении. Рассмотрены способы определения класса чистоты производственного помешения.
Для студентов старших курсов специальности «Электронное машиностроение».

УДК

621.793 Нанесение металлических и неметаллических покрытий. Металлизация. Нанесение проводниковых, полупроводниковых, резистивных, диэлектрических, магнитных покрытий и пленок из них

Предметные рубрики

• Пленки - Получение - Применение вакуума - Лабораторная практика

Авторы МГТУ

• Беликов Андрей Иванович
• Булыгина Екатерина Вадимовна
• Колесник Леонид Леонидович

Общее кол-во в фондах

1 экз.

Заказать в читальный зал

1. Преподавательский абонемент ауд.305л, УЛК, ауд. 305л
2. Читальный зал ауд.305л, УЛК, ауд. 305л