Скачать документ
Полнотекстовый документ
Дороднов А. М.
Методика инженерно-физического расчета электродугового источника плазмы для процессов нанесения покрытий в вакууме : учеб. пособие / Дороднов А. М., Кузнецов А. Н., Леонтьев С. В. ; МГТУ им. Н. Э. Баумана. - М. : Изд-во МГТУ им. Н. Э. Баумана, 1999. - 34 с. : ил. - Библиогр.:
Изложены методические подходы к расчетам электродугового источника плазмы для процессов нанесения покрытий в вакууме. Описаны основные физические особенности вакуумной дуги с катодными пятнами, ее генерационные характеристики. Проведен анализ стадий рабочего процесса - откачки, генерации, транспортировки плазмы и взаимодействия ионов с поверхностью изделия при различных режимах ионной обработки. Даны рекомендации по расчетам электродугового источника плазмы и его конструктивных параметров для решения конкретной технической задачи.
Для студентов, обучающихся по специальности "Плазменные энергетические установки", а также для аспирантов, инженерно-технических и научных работников, занимающихся изучением применения ионно-плазменных технологических установок в различных областях техники.
621.793.74 Металлизация плазменным распылением (плазменная металлизация)4 экз.