Подробное описание документа

Рабинович О. И., Крутогин Д. Г., Евсеев В. А.
   Основы технологии электронной компонентной базы. Моделирование технологических процессов получения тонкопленочных материалов : учебно-методическое пособие / Рабинович О. И., Крутогин Д. Г., Евсеев В. А. ; Министерство образования и науки РФ, Национальный исслед. технол. ун-т "МИСиС", Кафедра технологии материалов электроники. - М. : Издат. Дом МИСиС, 2012. - 80 с. : ил. - Библиогр. в конце разделов. - ISBN 978-5-87623-566-4.

IPR SMART

Войти и читать

https://www.iprbookshop.ru/98097.html

В пособии излагаются теоретические основы технологических процессов роста полупроводниковых материалов и методы контроля в рамках курса «Основы технологии электронной компонентной базы».
Предназначено для студентов, обучающихся по направлению 210100 «Электроника и наноэлектроника» в качестве бакалавров, магистров и инженеров, при выполнении лабораторных работ, подготовке магистерских диссертаций и дипломных работ.

УДК

621.793 Нанесение металлических и неметаллических покрытий. Металлизация. Нанесение проводниковых, полупроводниковых, резистивных, диэлектрических, магнитных покрытий и пленок из них

Предметные рубрики

• Полупроводниковые пленки - Получение

Общее кол-во в фондах

1 экз.

Заказать в читальный зал

1. Преподавательский абонемент ауд.305л, УЛК, ауд. 305л
2. Читальный зал ауд.305л, УЛК, ауд. 305л