Личный кабинет
Подробное описание документа
Мухуров Н. И.
Электромеханические микроустройства / Мухуров Н. И. ; Национальная Академия наук Беларуси, Ин-т физики им. Б. И. Степанова. - Минск : Беларуская навука, 2012. - 256 с. : ил. - Библиогр.:
Рассмотрены принципы формированияанодного оксида алюминия, приведены его основные физико-механические свойства, технологические методы получения планарных и объемных микроструктур. Выведены обобщенные универсальные формулы взаимодействия активных и реактивных сил в электростатических, электротоковых и др. микроактюаторах.
Определены основные закономерности соотношения входных и выходных параметров в процессе полного функционального цикла. Предложена классификация электростатических микроустройств по конструктивному исполнению и приведены соответствующие типовые примеры с расчетным аппаратом.
Для инженерно-технических и научных работников различных отраслей промышленности (приборостроительной, радиотехнической и др.), связи, а также для студентов старших курсов, аспирантов и преподавателей радиотехнических специальностей вузов.
621.38-022.532 Наноэлектроника1 экз.
- Преподавательский абонемент ауд.305л, УЛК, ауд. 305л
- Читальный зал ауд.305л, УЛК, ауд. 305л
Похожие издания
Электромеханические микроустройства / Мухуров Н. И., Ефремов Г. И. - Белорусская наука, 2012. -
Читать онлайн
