Подробное описание документа

   Проектирование технологических процессов изготовления интегральных микросхем : учеб. пособие по курсу "Технология приборостроения" / МГТУ им. Н. Э. Баумана. - М. : Изд-во МГТУ им. Н. Э. Баумана, 2003.
   Ч. III : Полирование подложек интегральных микросхем / Данилов И. И., Назаров Н. Г., Шалаев В. А. - 2003. - 17 с. : ил. - Библиогр. в конце брош. - ISBN 5-7038-2264-5.

Читать онлайн

Скачать документ

Полнотекстовый документ

Аннотация

В частях I и II учебного пособия по выполнению курсового проекта «Технология изготовления подложек интегральных микросхем» и «Определение технологических параметров механической обработки подложек интегральных микросхем» представлена общая технология изготовления, использующая формообразующие операции шлифования и отделочные операции полирования подложек.
Часть III учебного пособия содержит методические материалы для определения технологических параметров двустороннего полирования подложек, способного заменить формообразующее шлифование и отделочное полирование одновременно.
Для студентов 3-го и 4-го курсов приборостроительных специальностей.

УДК

621.3.049.77 Микроэлектроника. Интегральные схемы

Предметные рубрики

• Интегральные схемы - Проектирование - Учебники и пособия

Авторы МГТУ

• Данилов Игорь Иванович
• Назаров Николай Григорьевич

Общее кол-во в фондах

2 экз.

Заказать на абонемент

Заказать в читальный зал

1. Преподавательский абонемент ауд.305л, УЛК, ауд. 305л
2. Преподавательский абонемент ауд.313, ГУК, ауд. 313
3. Читальный зал ауд.305л, УЛК, ауд. 305л
4. Читальный зал ауд.313, ГУК, ауд. 313