Подробное описание документа
Статья
Зинченко Л. А.
Особенности многомасштабного моделирования микрооптоэлектромеханических систем с учетом технологических погрешностей / Зинченко Л. А., Косолапов И. А., Шахнов В. А. // Датчики и системы. - 2013. - № 9. -
681.782.473 Оптоэлектронные устройства