Подробное описание документа

Зинченко Л. А., Косолапов И. А., Шахнов В. А.
   Особенности многомасштабного моделирования микрооптоэлектромеханических систем с учетом технологических погрешностей / Зинченко Л. А., Косолапов И. А., Шахнов В. А. // Датчики и системы. - 2013. - № 9. - С. 29-37.

УДК

681.782.473 Оптоэлектронные устройства

Авторы МГТУ

• Зинченко Людмила Анатольевна
• Косолапов Илья Алексеевич
• Шахнов Вадим Анатольевич

Статья опубликована в следующих изданиях