Подробное описание документа

   Исследование точности системы юстировки и активной виброизоляции нанотехнологического оборудования / Базиненков А. М., Михайлов В. П., Степанов Г. В., Добер В. А. // Наноинженерия. - 2013. - № 10. - С. 12-19.

УДК

533.5 Разреженные газы. Физика вакуума. Вакуумная техника

Авторы МГТУ

• Базиненков Алексей Михайлович
• Михайлов Валерий Павлович

Статья опубликована в следующих изданиях