Подробное описание документа
Статья
Исследование точности системы юстировки и активной виброизоляции нанотехнологического оборудования / Базиненков А. М., Михайлов В. П., Степанов Г. В., Добер В. А. // Наноинженерия. - 2013. - № 10. -
533.5 Разреженные газы. Физика вакуума. Вакуумная техника