Подробное описание документа

Григорьев С. Н., Волосова М. А.
Ионная обработка / Григорьев С. Н., Волосова М. А. - М. : ИТО, 2010. - 155 с. : ил. - (Современные технологические процессы и оборудование. Библиотека технолога в 6 кн. ; кн. 2).

Аннотация

Издание посвящено основным видам ионной обработки:
а) нанесение покрытий методом ионного распыления;
б) ионное легирование материалов;
в) ионное осаждение покрытий электродуговым испарением катода;
г) ион-ное травление микроструктур.
Книга предназначена для специалистов и технологов, занимающихся приобретением и эксплуатацией описанных видов обработки. Может быть полезна для повышения квалификации молодых инженеров-технологов и для обучения студентов старших курсов технических университетов.

УДК
621.9.048.7 Электроннолучевая обработка и обработка лучами других элементарных частиц

Предметные рубрики

Ионная обработка материалов

Общее кол-во в фондах
2 экз.

Заказать на абонемент

Заказать в читальный зал

Вы можете получить данный документ в одном из следующих отделов

Преподавательский абонемент ауд.305л, УЛК, ауд. 305л
Преподавательский абонемент ауд.313, ГУК, ауд. 313
Читальный зал ауд.305л, УЛК, ауд. 305л
Читальный зал ауд.313, ГУК, ауд. 313